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LC183ML640/557680-06 HEIDENHAIN測量原理
更新時(shí)間:2020-07-09   點(diǎn)擊次數(shù):712次

LC183ML640/557680-06 HEIDENHAIN測量原理

 

測量基準(zhǔn)
海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵。
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光柵尺,用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR:在鍍金鋼尺帶上蝕刻柵線;典型柵距:40 µm
• METALLUR:抗污染的鍍金層金屬柵線;典型柵距:20 μm
• DIADUR:玻璃基體上超硬鉻線(典型柵距:20 μm)或玻璃基體上三維鉻線格柵(典型柵距:8 μm)
• SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵;*抗污能力;典型柵距:不超過8 μm
• OPTODUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵,超高反光性能;典型柵距:不超過2 μm
除極小柵距外,由該工藝刻制的光柵擁有優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃
描法,邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造。

測量法
式測量是指光柵尺或編碼器在通電時(shí)立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。位置信息由一系列碼編排的光柵讀取。單獨(dú)的增量刻軌信號通過細(xì)分生成位置值,同時(shí)用于生成可選的增量信號。

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